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台阶仪

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设备名称 台阶仪 品牌型号 VEECO dektak 150

设备用途
测量台阶高度 凹槽深度等
 
主要技术指标:
样片尺寸:≤6inch
样品最大厚度: 50mm
最大扫描长度: 1000um
垂直方向分辨率:1 Å 
样品台移动范围:100*100mm   360°

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