产品中心
联系我们
手机： 0532-86625732
邮箱： mamie_chm@126.com
地址： 青岛市胶州市上合示范区闽江路60号
设备名称 磁控溅射sputter 品牌型号 MSP-400D
设备用途
蒸镀金、氧化铝、五氧化二钽、氧化铬、ITO、GSBT等材料 （镍、钛、铂、铜、铁、铝、铬、银、硅、钨、铟、钽、钼、锗，氧化铬、氧化锌、氧化硅、氧化铝。）也可自带靶材镀其他材料。
主要技术指标：
镀膜尺寸：2inch 3inch 4inch 6inch及碎片
均匀性：≤±5%
加热器最高烘烤温度：300℃
极限真空度：≤6.7×10-5Pa
