设备名称 HMDS烘箱 品牌型号 鑫力V0-30-HMDS

设备用途
在样片表面粘附一层HMDS以增加样片和光刻胶的粘附力。

主要技术指标：
温度范围：室温-150℃
控温精度：±4℃
漏率：腔体漏率小于1Torr/5min

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