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设备名称 自动匀胶机 品牌型号 （2C）KS -S（III）100 -2
设备用途
通过高速旋转的电机带动晶圆转动，结合自动滴胶，将光刻胶均匀的涂覆到晶圆上。带有自动热板和冷板。
主要技术指标：
可用晶圆尺寸：2inch 3inch
最大转速：4500rpm
转速偏差：±1RPM
热板温度范围： 50-150℃
冷板温度范围：18-28℃
膜厚均匀性：3%（对2μm厚度以下胶）
