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设备名称：自动紫外光刻机 品牌型号 SUSS MA6
设备用途
光刻机发出的紫外光通过具有特定图形结构的掩膜版对样片曝光，然后通过显影将掩膜版上的图形结构转移到样片表面的光刻胶上。
主要技术指标：
可选波长：365nm 405nm 436nm
可加工尺寸：2inch 3inch 4inch晶圆和≥1cm2碎片
极限分辨率：0.8um
正面套刻精度：≤0.25um
曝光稳定性：±1%
曝光模式：真空接触、硬接触、软接触和泛曝光
